太阳能作为应用广、无排放、无噪声的环保能源，在近些年迎来快速发展，而在各类型的太阳能电池及太阳能充电系统中，多会镀一层透明的ITO导电薄膜，其镀膜厚度对电池片的导电性能有着非常重要的影响，因而需要对镀膜厚度进行检测与管控。

　　由于ITO膜具有一定的透光性，而硅基板具有较强的反射率，会对依赖反射光信号进行图像重建的光学轮廓仪造成信号干扰导致ITO膜厚图像重建失真，因此考虑采用接触式轮廓仪对ITO膜厚进行测量，由于其厚度范围从十几纳米到几百纳米，考虑到测量的同时不损伤样件本身，因而采用具有超微力可调和亚纳米级分辨率的台阶仪最为合适。

　　台阶仪是一种常用的膜厚测量仪器，它是利用光学干涉原理，通过测量膜层表面的台阶高度来计算出膜层的厚度，具有测量精度高、测量速度快、适用范围广等优点。它可以测量各种材料的膜层厚度，包括金属、陶瓷、塑料等。

　　CP系列台阶仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪，其采用LVDC电容传感器，具有的亚埃级分辨率和超微测力等特点使得其在ITO导电薄膜厚度的测量上具有很强的优势。华体会体育